題名
ナノ茶論第10回セミナー(2019/2/26)
開催日
2019年2月26日(火)
時間
15:30~17:00 (14:30~ご希望の方にNANOBIC設備見学会を行います。)
場所
新川崎・創造のもり「NANOBIC」2階会議室(川崎市幸区新川崎7-7)
https://kawasaki-sozonomori.jp/access
概要
(発表者)
国立研究開発法人 物質・材料研究機構 機能性材料研究拠点  廖 梅勇(リョウ メイヨン)主幹研究員

(発表テーマ)
超高品質因子を持つダイヤモンドカンチレバーおよびセンシング機能を一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサチップ

(紹介文)
室温で世界最高レベルの高品質因子 (Q値) を持つダイヤモンドカンチレバーおよび世界初の電気信号による駆動とセンシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサチップの開発に成功しました。
単結晶ダイヤモンドMEMSチップを実際に駆動させたところ、既存のシリコン製MEMSを大幅に超える超高感度(Q値:110万)、高信頼、小型、低い動作電圧、高温動作 (600℃) などの非常に高い性能を示しました。
単結晶ダイヤモンドMEMSの原理や作成方法のほか、従来のMEMSでは実現できなかった新しいセンシング用途への展開可能性についてご紹介します。
詳細

※14:30~NANOBIC設備見学会を行います。参加ご希望の方は備考欄に「設備見学希望」とご記入ください。

 

参加費:500円

 

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