題名
ナノ茶論 第1回 オンラインセミナー(2021/6/25)
開催日
2021年6月25日(金)
時間
15:00~17:00
場所
Zoomによるオンライン開催

下記申込フォームよりご登録いただいたメールアドレス宛に、
参加用URL及びパスワード情報をお送りいたします。
※インターネットに接続できるパソコン等の通信機器をご用意いただく必要があります。
概要
■第1部
15:00~15:55

(タイトル)
「半導体R&D支援分析技術としてのテラヘルツ放射顕微鏡」

(講師)
大阪大学 レーザー科学研究所 斗内 政吉 教授

(紹介文)
 フェムト秒レーザを物質に照射すると、その多くからテラヘルツ波が放射されます。このとき、テラヘルツ波は電荷の時空間の高速移動を反映し、物の形状を見るのではなく、電荷動きを可視化する顕微鏡を開発できます。
 ここでは、材料・デバイス評価への適用を目指して独自に開発してきたテラヘルツ放射顕微鏡(Laser Terahertz Emission Microscope: LTEM)の原理と半導体R&D応用(MOS /STV /ワイドギャップ半導体評価・LSI不良箇所特定手法など)について紹介します。

■第2部 
16:00~16:40
4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム所属研究者による講演

(タイトル)
「ナノ・マイクロ熱流体システムデザインの最前線」

(講師)
慶應義塾大学 理工学部システムデザイン工学科 田口 良広 教授

(紹介文)
 熱物性(熱伝導率、拡散係数、粘性率、表面張力など)は熱設計を行う上で非常に重要なパラメータであるとともに、病気や汚染などの新たな指標となりうることが最近の研究でわかってきました。
 本講演では、レーザー技術やMEMS技術を用いた新しい熱物性センシング技術に関する我々の最新の取り組みをご紹介いたします。さらに、熱制御を巧みに行うことで革新的なスキャナーの開発に成功いたしましたので併せてご紹介いたします。

16:40~17:00
オープンラボ活用企業取組紹介

(タイトル)
「オープンイノベーションを活用した技術開発」

(講師)
株式会社協同インターナショナル 電子部 技術課長 山田 幹 氏

(紹介文)
 技術開発においてスピードと成果、そしてコストのバランスが求められる中、産学官の連携及びオープンラボの利用はその課題の一つの解決策になりえます。
 本講演では、当社がこれまでに取り組んできた3つの技術開発(薄膜熱電対、スパッタ薄膜メンブレン、剥がれない裏面電極膜)とオープンイノベーションの実施例をご紹介させていただきます。
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